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聚焦离子束 当前位置:首页 - 产品展示
 
产品名称:FIB的发展历史

产品介绍:

       1975年Krohn等利用电流体力学原理制作出高亮度的液态金属离子源,因为不需要低温环境,所以使用操作相对比较简单。
       1978年Seliger等搭建了第一台基于液态金属镓离子源的聚焦离子束系统。目前绝大多数FIB系统都采用镓离子源的聚焦离子束系统,以至于现在提到FIB通常都默认为镓离子源聚焦离子束系统。

       液态金属离子源中的金属镓经过加热溶化附着在钨针尖表面,在表面张力和相反方向电场力的作用下,尖端形成一个很小的泰勒锥,在泰勒锥与抽取电极之间形成的巨大电场作用下,镓发生电离并且以场致发射的方式溢出形成离子流,离子流经过加速后聚焦在样品上。理想情况下,在聚焦的束斑内,离子呈高斯分布特征,越靠近束斑中心,离子的相对数量越大;实际上,聚焦离子束的具体形状还会受到离子束光阑的形状、聚焦透镜的像散等因素影响。

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