产品介绍:
聚焦离子束技术就是在电场以及磁场的作用下,将离子束聚焦列亚微米甚至纳米量级,通过偏转系统和加速系统控制离子束,实现微细图形的检测分析和纳米结构的无掩膜加工。
FIB技术经过不断发展。现如今已经可以实现:
1.通过微通道级或者通导电子倍增器收集二次带电粒子来采集图像。
2.通过高能或化学增强溅射来去除不想要的材料。
3.沉积金属、碳或类电介质薄膜的亚微米图形。
同时,FIB技术已在掩膜修复、电路修正、失效分析、透射电子显微镜(TEM)试样制作及三维结构直写等方面获得应用。
如您有用应用聚焦离子束的需要,欢迎联系我们!
深圳市华丛科技有限公司
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