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产品名称:FIB加工注意事项

产品介绍:

FIB加工技术可用于芯片的物理修改,以便芯片设计者对芯片出现的问题做出针对性的测试,进而可以更快更准确的验证设计方案。 若芯片部份区域有问题,可通过FIB对此区域隔离或改正此区域功能,以便找到问题的症结。

准备FIB加工方案时要注意:

1.基于整个CHIP的Layout截图,圈出要进行FIB加工的大概位置;
2.基于具体要加工的位置截图,指定加工行为(切断还是连接),加工位置(要具体,准确),加工的Layer(是M1还是M2),还可以附加更详细的说明;
3.避免在金属Layer叠加的位置对金属进行操作,比如在M2和M1有重叠的位置,若对M2进行加工,可能造成M2与M1短路,另外,尽量选择较“宽敞”的位置进行加工;

4.尽量将要加工的位置做集中处理,即便是不相关的操作;

如您有用应用聚焦离子束的需要,欢迎联系我们!
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