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化学处理 当前位置:首页 - 产品展示
 
产品名称:对衬底材料的特性要求

产品介绍:

1.导电类型:N型与P型都易制备;
2.电阻率:均匀性好(纵向、横向、微区)、可靠性高(稳定、真实);
3.寿命(少数载流子):晶体管——长寿命;
                              :开关器件——短寿命;
4.晶格完整性:无位错、低位错(小于1000个/平方厘米);
5.纯度:电子级硅
6.晶向:双极器件——<111>;MOS——<100>;GaAs——<100>;
7.直径:
8.平整度:
9.主、次定位面:
10.禁带宽度、迁移率、晶格匹配等。

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