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芯片分析手段:
在芯片解密和芯片设计的工程中,芯片的分析都是十分重要的,目前市场上常见的芯片分析手段及利弊分析介绍如下,现将其整理,希望广大对IC领域感兴趣的朋友可以有所收获:
1 超声波扫描显微镜:
(1)非破坏性、无损检测材料或IC芯片内部结构
(2) 可分层扫描、多层扫描
(3) 晶圆面处分层缺陷, 锡球、晶圆、或填胶中的开裂 ,晶圆的倾斜
(4)可检测各种缺陷(裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等)
2 X-Ray
(1)能观察样品的内部,
(2)对于分层的空气不是非常的敏感,裂纹和虚焊难以被观察到的,除非材料有足够的物理上的分离
(3)通常与超声波扫描显微镜结合起来,
3 SEM扫描电镜/EDX能量弥散X光仪:
(1)材料结构分析/缺陷观察
(2)元素组成常规微区分析,
(3)精确测量元器件尺寸
4 FIB做电路修改测试。
(1)进行IC电路修改。
(2)内部电路讯号量测,
(3)结构分析等
除了常用手段之外还有其他一些失效分析手段,原子力显微镜AFM ,二次离子质谱 SIMS,飞行时间质谱TOF - SIMS ,透射电镜TEM , 场发射电镜,场发射扫描俄歇探针, X 光电子能谱XPS ,L-I-V测试系统,能量损失 X 光微区分析系统等很多手段,不过这些项目没有上述的普及。
分析步骤:
1 外观检查,拍照;
2 非破坏性分析:主要是超声波扫描显微镜(C-SAM)--看有没分层,xray--看内部结构,等等;
3 电测:主要工具,万用表,示波器,晶体管测试仪;
4 破坏性分析:开盖分析。
如您有芯片分析的需要,欢迎来我公司实地考察:
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