产品介绍:
液态金属离子源
离子源可以称之为聚焦离子束系统的心脏,真正的聚焦离子束其实是早于液态金属离子源的出现,液态金属离子源产生的离子因为具有高亮度、极小的源尺寸等一系列优点,所以成为目前所有聚焦离子束系统的离子源。液态金属离子源是利用液态金属在强电场作用下产生磁场致使离子发射所形成的离子源。
在液态金属离子源的制造过程中,先将直径约为0.5mm的钨丝经过电化学腐蚀,得到尖端直径只有5-10μm的钨针,然后将熔融的液态金属粘附在钨针尖上,在外加强电场后,液态金属在电场力作用下形成一个极小的尖端(俗称泰勒锥),液态金属离子源尖端的电场强度则可高达1010V/m。在如此高的电场下,液态表面的金属离子以蒸发的形式逸出表面,产生离子束流。由于液态金属离子源的发射面积极小,尽管只有几微安的离子电流,但电流密度约可达106A/cm2,亮度约为20μA/sr。
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