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聚焦离子束 当前位置:首页 - 产品展示
 
产品名称:聚焦离子束(FIB)和“双束”科技

产品介绍:

聚焦离子束(FIB)和“双束”科技
聚焦离子束的工作原理与扫描电镜相似,只是电子枪换成镓离子源(ga+),扫描电镜镜筒更换为离子镜筒,与扫描电镜相比,聚焦离子束具有特殊的“加工”性能,由于离子束的动能远远大于电子束,离子束对样品表面会形成“切割”作用。
与扫描电镜二次电子等信号成像相似,FIB可采用二次电子,可进行能谱分析。另外,FIB还可以采用二次离子成像,采用二次离子质谱进行元素分析。
FIB中成像原理包括:形貌衬度成像,电位衬度成像和离子通道衬度成像
样品切割功能:

可对半导体样品进行3D观察分析,或制备透射电镜样品。

如您有用应用聚焦离子束的需要,欢迎联系我们!
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