产品介绍：

1. 原理 
SEM的工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。
2. 性能
设备能够满足可以观察直径为0～200mm（8〞wafer）的试样。     
放大倍率：×5～×300,000
设备能够满足可以观察直径为0～200mm（8〞wafer）的试样。     

放大倍率：×5～×300,000